晋昭公、晋顷公时期，六卿势力更加强大，公室越发地微弱。顷公十一年，卫国、宋国派使者请求晋国发兵护送鲁昭公回国。鲁国的权臣季平子暗中贿赂六卿之一的范献子，范献子就对晋君进言说：“大王，鲁国的臣子季氏没有过错，我们不应该去帮助鲁昭公。”结果晋国就没有答应卫、宋两国的请求。第二年，晋国宗族祁奚的孙子与叔向的儿子在国君面前相互诽谤。六卿想要削弱公室，便强引刑法诛灭了两人的宗族，把他们的封地分为十个县，让各自的儿子去做这些县的长官。此后，晋国王室更加衰弱，六卿更加强大了。
晋定公十五年，六卿之一的赵鞅因为封地问题而擅自出兵讨伐邯郸大夫。同为六卿的中行氏、范氏因为与邯郸大夫是亲戚，所以他们便联合进攻赵鞅。晋定公认为赵鞅的所作所为违背了礼仪，便亲自率军去围攻他。而六卿中的智氏、韩氏、魏氏因为与范氏、中行氏有仇，便也借机攻打他们。最后范氏、中行氏被击败，被迫逃到了外国。而智、韩、魏三家替赵氏向国君求情，赵鞅最终被赦免，恢复了原职。
晋出公时期，智、韩、魏、赵四家瓜分了范氏、中行氏的封地，把它作为自己的私邑。出公非常愤怒，认为他们擅自扩充实力，丝毫不把他这个国君放在眼里，于是就想要依靠齐国、鲁国的力量讨伐这四卿。四卿担心齐、鲁两国帮助出公，便先发制人，派兵攻打出公。出公只好逃往齐国，结果死在了路上。智伯曾经与昭公的孙子忌关系不错，而忌很年轻就死了，智伯于是就拥立忌的儿子骄当上了国君，这就是晋哀公。此时，智伯独揽晋国的大权，为完全吞并晋国做着准备。同时智伯的独断专行也引起了韩、赵、魏三家的不满，他们便私下互相约定共同反对智伯。哀公四年，智伯被韩、赵、魏三家联合杀死，其封地也被三家瓜分。韩、赵、魏三家自此被称为三晋。
幽公在位时，由于害怕三晋势力，竟然去朝拜三晋的宗主。此时的晋国国君只拥有绛城和曲沃两个地方。晋烈公时期，三晋正式被周王册封为诸侯。晋静公二年，三晋将晋君辖有的最后的土地瓜分，静公被贬为平民，晋国的祭祀从此断绝了。